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近日，市場監(jiān)管總局發(fā)布新的電容基準(zhǔn)裝置和電感基準(zhǔn)裝置，升級高端電子元件精密測量源頭，更好支撐我國電子元器件制造產(chǎn)業(yè)升級，促進電力、電子和通信產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

電容、電感和電阻是基本的電路元件，廣泛應(yīng)用于電力、電子和通信領(lǐng)域。高端電子元器件制造、篩選與產(chǎn)業(yè)化，都離不開電容和電感量值的準(zhǔn)確計量。日常生活中的手機、電腦、家用電器、汽車等消費類電子產(chǎn)品都大量使用各種型號的電容、電阻和電感元件。小小的電子元件毫不起眼，卻蘊含著高科技。以多層陶瓷電容器為例，雖然只有米粒大小，但卻是由幾百層陶瓷和金屬電極疊壓構(gòu)成的，目前最先進的電容元件甚至可達到千層以上。

新的電容基準(zhǔn)裝置通過激光測長系統(tǒng)實時測量計算電容主電極的軸向長度實現(xiàn)電容單位高準(zhǔn)確度復(fù)現(xiàn)，克服了原電容基準(zhǔn)裝置無法實時溯源軸向長度的難題，同時實現(xiàn)了我國提出的克服端部效應(yīng)的電補償方案，自主研制了電容傳遞電橋，將電容量程由10 pF擴展到了100 pF，進一步提高了復(fù)現(xiàn)電容單位的能力。

新的電感基準(zhǔn)裝置采用國際上更為通用的麥克斯韋維恩電橋法，自主研制了電感基準(zhǔn)傳遞電橋和過渡標(biāo)準(zhǔn)電感器組，復(fù)現(xiàn)電感量值標(biāo)準(zhǔn)不確定度，從原電感基準(zhǔn)裝置的5 μH/H提升至2 μH/H。

新的電容基準(zhǔn)裝置和電感基準(zhǔn)裝置在更高的技術(shù)水平上復(fù)現(xiàn)了電容單位“法拉”和電感單位“亨利”，所參加的國際關(guān)鍵比對結(jié)果驗證表明，我國的電容和電感量值復(fù)現(xiàn)能力處于國際先進水平，進一步提高我國在國際電磁阻抗計量領(lǐng)域的影響力和話語權(quán)。

新的電容基準(zhǔn)裝置和電感基準(zhǔn)裝置能夠更好地滿足我國航空航天、微電子等高精尖領(lǐng)域的溯源需求，相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)能解決用于地震的監(jiān)測與預(yù)測、地質(zhì)勘探、航天器發(fā)射與導(dǎo)航等領(lǐng)域的超導(dǎo)重力儀中超高精度差分位移檢測難題。其中，新的電容基準(zhǔn)裝置的電容檢測靈敏度可達1×10-9 pF，可實現(xiàn)亞納米（埃）級的微位移精確測量，相當(dāng)于一根頭發(fā)絲直徑的十萬分之一的位移變化。同時，在微電子行業(yè)的集成電路領(lǐng)域，新的電容基準(zhǔn)裝置可解決我國微小電容量值的溯源校準(zhǔn)能力缺失問題，為集成電路在線參數(shù)和可靠性測試提供片上阻抗標(biāo)準(zhǔn)及溯源依據(jù)。

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